CF₄
Không tan trong nước.Nó là một hydrocacbon đã halogen hóa và nó có thể được coi là hydrocacbon đã halogen hóa, metan được halogen hóa, perfluorocarbon hoặc có thể được coi là một hợp chất vô cơ.Chủ yếu được sử dụng trong quá trình khắc plasma mạch tích hợp khác nhau, cũng được sử dụng làm khí laser và chất làm lạnh.